勻膠機

簡要描述：勻膠機設備簡介：
桌上型旋轉涂布機，用于對均勻性要求較高的表面涂布工藝，將光刻膠溶液手動涂覆在硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵、鈮酸鋰等基片上形成薄膜，主要應用于12寸以內樣品。

基礎信息

產品型號

MSC系列

廠商性質

生產廠家

更新時間

2025-08-20

瀏覽次數

1624

產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

涂膠顯影機

顯影機勻膠機涂布機

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勻膠機在半導體及精密器件制造中的應用與操作要點

顯影機：光刻工藝的“圖形顯現師”

勻膠機：微納制造領域的“薄膜魔法師”

桌上型顯影機顯影均勻性的保障之道

詳細介紹

品牌	其他品牌

勻膠機產品特點：

桌上型旋轉涂布機外觀鏡面不銹鋼，腔體PTFE材質，核心部件進口品牌，板件和機加用料扎實，使整機環保、穩定、皮實、耐用和更有高級感。

均勻性高：可達1%以內，減少因設備性能不足導致實驗數據偏差過大，從而影響整個工藝。

安全性高：電氣獨立集成機身側面，避免因腔體漏液到設備內部導致短路風險，真空負壓數值顯示和低真空報警，避免因負壓不足帶來飛片風險。

性價比高：真材實料，核心部件均為進口，用心做好每一款產品。

勻膠機產品參數：

桌上型旋轉涂布機	供電電壓	AC220V,50Hz	操作方式	7寸觸摸屏
	轉速	20~10000rpm	滴膠方式	手動滴膠
	加速度	350~10000rpm/s	編程	可編程50組20步
	減速度	350~10000rpm/s	均勻性	1%
	轉速分辨率	1rpm	抽氣接口	φ6mm快擰接口
	單步時間	3000s	整機尺寸	500mm×500mm×320mm
	基片尺寸	直徑≤8英寸(200mm)	整機重量	40kg
	腔體材質	PTFE	核心部件品牌	松下、西門子、威綸通、三洋、SMC、明緯等
排氣系統	真空泵	干式機械泵
	抽氣速率	50L/min
	供電電源	AC220V 50/60Hz

更多選擇可咨詢，如嵌入式設計、方片吸盤的定制等。

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